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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱: 半導(dǎo)體光學(xué)鍍膜設(shè)備氦檢漏儀維修
簡要描述: 專業(yè)檢漏儀維修保養(yǎng)。半導(dǎo)體光學(xué)鍍膜設(shè)備氦檢漏儀維修品牌:提供Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、INFICON英???、Shimadzu島津、Agilen安捷倫 、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的氦質(zhì)譜檢漏儀、氦質(zhì)譜儀維修
更新時(shí)間: 2024-10-28
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產(chǎn)品介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子

專業(yè)檢漏儀維修保養(yǎng)。半導(dǎo)體光學(xué)鍍膜設(shè)備氦檢漏儀維修。提供維修保養(yǎng)品牌:Pfeiffer普發(fā)、Leybold萊寶、adixen阿爾卡特、Edwards愛德華、Varia瓦里安、INFICON英??怠himadzu島津、Agilen安捷倫 、ULVAC愛發(fā)科等進(jìn)口品牌的氦質(zhì)譜檢漏儀、氦質(zhì)譜儀維修、保養(yǎng)服務(wù)。 維修流程完善,長期備有原廠維修配件,為客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

氦質(zhì)譜檢漏儀故障處理:分子泵不工作

(1)儀器界面上TMP(分子泵的運(yùn)轉(zhuǎn)頻率)顯示“0”即分子泵沒有工作。有可能是前級(jí)壓力過高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動(dòng)。

檢查導(dǎo)致壓力過高的項(xiàng)目有:真空規(guī)管是否有問題,分子泵出口是否打開,機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng),系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害,可自行用工具撥動(dòng)葉片,判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。(2)分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷,更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。

(3)分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置,此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止,如風(fēng)扇正常,則可能為分子泵電源故障,請與廠家聯(lián)系。

質(zhì)譜室無法正常啟動(dòng)

燈絲無法正常啟動(dòng),在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通,消除短路現(xiàn)象。

半導(dǎo)體光學(xué)鍍膜設(shè)備氦檢漏儀維修品牌

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